Термообработка пластин
Многочисленные термические процессы по послойному формированию структуры полупроводниковой пластины, такие как окисление, осаждение легирующей примеси из паровой фазы и её диффузия, отжиг, наряду с фотопроцессами являются основой полупроводникового производства.
|